6月22日，佛山市发展和改革局发布《佛山市半导体及集成电路产业集群发展行动方案（2022-2025年）》（下称《行动方案》）。

图片来源：佛山市发展和改革局

《行动方案》指出，目标到2025年，全市半导体及集成电路产业营业收入超过100亿元，十四五"时期，产业营业收入年均增长率达15%；打造6个重点半导体及集成电路专业化产业园；在新型显示制造装备等关键核心技术攻关取得明显突破，国产化、本地化半导体产品应用推广取得明显成效。

支持Micro LED等新型显示技术攻关

《行动方案》在重点发展路径中提到，将支持季华实验室牵头组织实施新型显示制造装备攻关"璀璨行动"，攻克一批显示制造关键装备的前沿引领技术、关键共性技术及卡脖子技术，打造新型显示制造装备研发和生产基地。

重点任务包括：在季华实验室，组织实施"璀璨行动"计划，重点攻克显示制造关键装备核心技术，建成具有量产能力的显示制造装备G6应用验证线，实现显示制造装备上线验证及规模化生产。建设Micro LED芯片高精度异质集成平台。

支持第三代半导体发展

《行动方案》在重点发展路径中也提到，将重点发展包括第三代半导体芯片设计在内的各类芯片设计，满足汽车、装备制造等终端应用市场需求升级。抢抓第三代半导体发展契机，支持发展碳化硅、氮化镓、砷化硅、磷化铟等高性能化合物功率器件研制项目，支持建设中试制造封测生产线。

重点任务包括：在广东中科半导体微纳制造技术研究院，开展大尺寸硅基、氮化镓关键材料外延等多种半导体材料与器件工程化研究。围绕氮化镓、硅基两大材料体系布局光电类芯片、MEMS器件、等多种半导体分立器件的全开放式中试流片线。