近日，广东省松山湖材料实验室第三代半导体团队和北京大学王新强教授团队合作，采用COB集成技术设计开发了275nm、265nm及255nm三种波长的瓦级输出功率的深紫外LED集成光源，其最高输出功率达到1.88W。光源采用密集排布的芯片阵列，195颗芯片以15串13并的方式接入电路，发光区域仅为3.4 cm×3.4cm，出光均匀。通过采用AlN高导热陶瓷基板，并配备铜散热板和散热风扇，有效地提高了集成光源的散热性能。

图1. 深紫外LED集成光源的（a）光输出功率与电流关系曲线，插图为其实物图；（b）电压与电流关系曲线；（c）电光转换效率与电流关系曲线；（d）归一化光谱。

由于其极高的输出功率，深紫外LED集成光源展示了优异的杀菌效果。对于表面杀菌场景，1秒内即实现了对距离5cm处的金黄色葡萄球菌、大肠杆菌及白色念珠菌等多种代表性致病菌的99.9%以上的杀灭。对于空气杀菌场景，通过将其与L型铝制风管（带有鼓风风扇）结合制备而成的空气杀菌模组，30分钟内实现了对20m3空间内空气中的白色葡萄球菌超过97%的杀灭。

图2. 深紫外LED集成光源的表面杀菌效果图。（a）金黄色葡萄球菌，杀菌前；（b）大肠杆菌，杀菌前；（c）白色念珠菌，杀菌前；（d）金黄色葡萄球菌，杀菌后；（e）大肠杆菌，杀菌后；（f）白色念珠菌，杀菌后。

同时，采用三种不同波长的深紫外LED集成光源进行了最佳杀菌波长的探索，结果表明，在相同辐照剂量下，对于金黄色葡萄球菌，265nm和255nm紫外线的杀灭率相当，均大于275nm紫外线的杀灭率，说明其最佳杀菌波长可能在260nm左右，与DNA的吸收峰相吻合。该工作展示了高功率深紫外LED集成光源的优异杀菌效果，以及未来在杀菌消毒领域应用中的巨大潜力。后续，该团队将继续基于新开发的高电光效率（WPE>5%）、多发光波长（255~325 nm）的UVC/UVB-LED芯片，进行更高功率的紫外LED集成光源的开发及应用场景探索。